任何真空系统都希望尽量缩短抽气的时间，这关系到提高其效率和降低能耗，但并不是所有的真空应用都具有缩短抽气时间的条件。真空泵机组真空度要求在0.5pa以上，只要时间常数足够的小，便可昼量缩短抽气的时间。
真空泵机组真空度要求在0.5Pa以下，就要改虑放气对压力变化的影响。放气量随时间的变化缓慢。特别是在无烘烤的情况下。要在预定较短的时间内达到较高的真空度，就要以较大的抽速抽除较大的放气量。也就是说如放气量为Q，泵的有效抽速为S0，则可达到平衡压力P=Q/S0.如平衡压力确定，则达到的时间越短，要求真空泵机组的有效抽速就越大。蒸发镀膜就是典型的这类的应用，由于蒸镀的速度快，时间短，所以不考虑放气量的影响（即活性气体的影响）。但蒸发粒子的能量低，要求绝大部分粒子无碰撞地沉积到工件上，以保证结合力及减少散射，这就要求真空室内的平均自由程不小于蒸发源到工件的距离，与此相应的压力约在1×10-2Pa，这便是蒸发镀膜对真空度的要求。
如何在尽量短的时间内达到这一压力，就对泵的有效抽速提出了要求，原则是时间越短，由于放气量越大，有效抽速就要求越大。所以蒸发镀膜一般配置抽速强大的油扩散泵机组，功率有数十千瓦，几分钟至十几分钟内便可达到工作真空度，但该系统对工件造成的油蒸汽污染是难以避免的，特别是塑料金属化膜层易发黄。
目前真空泵机组抽速满足不了大型蒸发镀的需要。而大抽速的低温泵又是工业化规模镀膜所承受不了的。根据被抽空间气体负载的特性，利用分子增压泵抽除气体，结合低温冷凝水捕集泵抽除水蒸汽，有望实现大抽速获得清洁真空的全新抽气工艺。
