真空机组的真空度范围可以因不同的配置和用途而有所差异。一般来说，罗茨真空泵本身的限度真空度通常为0.5到1Pa。然而，当罗茨真空泵与其他类型的真空泵（如水喷射真空泵）组合成真空机组时，其真空度范围可能会受到前级泵性能的影响。
以某个具体的罗茨水喷射真空机组为例，其技术参数中提到的真空度可能达到150Pa，但这通常是在特定配置和工况下实现的。同时，该机组还可能根据工艺需求配置不同级别的罗茨泵和水喷射真空泵，以实现更高的抽气量和更低的限度真空度。
需要注意的是，真空机组的真空度范围不仅取决于泵本身的性能，还受到工作条件、环境因素、维护保养状况等多种因素的影响。因此，在实际应用中，应根据具体需求和条件选择合适的机组，并定期进行维护保养以确保其性能稳定可靠。
此外，还需要注意的是，不同厂家生产的真空机组可能具有不同的技术参数和性能特点。因此，在选购和使用时，应仔细比较不同产品的性能指标和适用范围，选择适合自己需求的产品。
综上所述，真空机组的真空度范围是一个相对灵活的概念，其具体数值取决于多种因素。在实际应用中，应根据具体需求和条件进行选择和调整。
